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VA真空單臂系列機(jī)器人

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程

末端執(zhí)行器類型：下托式

臂展: 520mm? 負(fù)載: 2kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環(huán)境: 真空

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AHY系列晶圓機(jī)器人

真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境

雙工位交換晶圓動作（Swap）

臂展: 213.4mm? 負(fù)載: ≤1kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環(huán)境：真空

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DFA大氣雙軸片盒系列

采用閉環(huán)伺服控制

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長

臂展: 400mm? 負(fù)載: 12kg? 搬運物: 4-12寸晶圓片盒?? 環(huán)境：大氣

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FA大氣單指系列機(jī)器人

采用閉環(huán)伺服控制

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長和Z軸行程

可選配免電池絕對式編碼器

可選mapping傳感器類型：對射式、反射式

可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

臂展: 420mm? 負(fù)載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓?? 環(huán)境：大氣

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FBA大氣雙指系列機(jī)器人

采用閉環(huán)伺服控制

可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長和Z軸行程

可選配免電池絕對式編碼器

可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、邊緣夾持式

臂展: 640mm? 負(fù)載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環(huán)境: 大氣

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